The contribution of fast neutrals to cathode erosion in glow discharges
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http://hdl.handle.net/10045/25774
| Título: | The contribution of fast neutrals to cathode erosion in glow discharges |
|---|---|
| Autor/es: | Abril, Isabel | Gras Martí, Albert | Vallés Abarca, José Antonio |
| Grupo/s de investigación o GITE: | Interacción de Partículas Cargadas con la Materia | Electroquímica Aplicada y Electrocatálisis |
| Centro, Departamento o Servicio: | Universidad de Alicante. Departamento de Física Aplicada |
| Palabras clave: | Neutrals | Cathode erosion | Glow discharge |
| Área/s de conocimiento: | Física Aplicada |
| Fecha de publicación: | 14-sep-1984 |
| Editor: | Institute of Physics Publishing |
| Cita bibliográfica: | ABRIL, I.; GRAS-MARTI, A.; VALLES-ABARCA, J.A. "The contribution of fast neutrals to cathode erosion in glow discharges". Journal of Physics D: Applied Physics. Vol. 17, No. 9 (1984). ISSN 0022-3727, pp. 1841-1849 |
| Resumen: | We calculate the rate at which a target located at the cathode of a glow discharge is sputtered. The calculation involves two steps: (1) evaluation of the energy distribution functions of ions and neutrals impinging on the target; and (2) convolution of these distributions with known sputtering functions. We show that under certain conditions, charge-exchange collisions lead to sputtering predominantly by fast neutrals. |
| Patrocinador/es: | This work is part of a research project under the auspices of the Spanish CAICYT (Proyecto no 599), and an 'Acción Integrada' in collaboration with the University of Salford (financially supported by The British Council and the Spanish MEC). |
| URI: | http://hdl.handle.net/10045/25774 |
| ISSN: | 0022-3727 (Print) | 1361-6463 (Online) |
| DOI: | 10.1088/0022-3727/17/9/009 |
| Idioma: | eng |
| Tipo: | info:eu-repo/semantics/article |
| Derechos: | Copyright © IOP Publishing Ltd |
| Revisión científica: | si |
| Versión del editor: | http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/17/9/009 |
| Aparece en las colecciones: | INV - IPCM - Artículos de Revistas INV - LEQA - Artículos de Revistas |
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| Archivo | Descripción | Tamaño | Formato | |
|---|---|---|---|---|
 1984JPD17(1984)1841_neutrals_glow_discharges.pdf | Versión final (acceso restringido) | 535,76 kB | Adobe PDF | Abrir Solicitar una copia |
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