Phosphorus doping of silicon by proton induced nuclear reactions
Por favor, use este identificador para citar o enlazar este ítem:
http://hdl.handle.net/10045/25348
Título: | Phosphorus doping of silicon by proton induced nuclear reactions |
---|---|
Autor/es: | Abril, Isabel | García Molina, Rafael | Erokhin, Konstantin M. | Kalashnikov, Nicolay P. |
Grupo/s de investigación o GITE: | Interacción de Partículas Cargadas con la Materia |
Centro, Departamento o Servicio: | Universidad de Alicante. Departamento de Física Aplicada |
Palabras clave: | Phosphorus doping | Silicon | Proton | Nuclear resonant reaction |
Área/s de conocimiento: | Física Aplicada |
Fecha de publicación: | 29-may-1995 |
Editor: | American Institute of Physics |
Cita bibliográfica: | ABRIL, Isabel, et al. “Phosphorus doping of silicon by proton induced nuclear reactions”. Applied Physics Letters. Vol. 66, No. 22 (29 May 1995). ISSN 0003-6951, pp. 3036-3038 |
Resumen: | We propose a method to dope silicon with phosphorus by means of the nuclear resonant reaction 30Si(p,γ)31P, which takes place when a natural silicon target is bombarded with a few MeV proton beam. This alternative method considerably reduces the usual target damage produced by the more commonly used direct phosphorus implantation. |
Patrocinador/es: | Partial support from the Spanish DGICYT (Project Nos. PB92-0341 and PB93-1125). N.P.K. thanks the Spanish DGICYT for financial support (SAB93-0182) during his sabbatical stay in the Universidad de Murcia. |
URI: | http://hdl.handle.net/10045/25348 |
ISSN: | 0003-6951 (Print) | 1077-3118 (Online) |
DOI: | 10.1063/1.114269 |
Idioma: | eng |
Tipo: | info:eu-repo/semantics/article |
Derechos: | Copyright © 1995 American Institute of Physics |
Revisión científica: | si |
Versión del editor: | http://dx.doi.org/10.1063/1.114269 |
Aparece en las colecciones: | INV - IPCM - Artículos de Revistas |
Archivos en este ítem:
Archivo | Descripción | Tamaño | Formato | |
---|---|---|---|---|
1995ApplPhysLett66(1995)3036-P_doping.pdf | Versión final (acceso restringido) | 83,12 kB | Adobe PDF | Abrir Solicitar una copia |
Todos los documentos en RUA están protegidos por derechos de autor. Algunos derechos reservados.